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  • 九月福利 | 氮化硅膜钜惠来袭,微纳加工折扣惊喜!

    2019/8/30

    国产芯片助力国家科研,氮化硅薄膜窗口优惠大放送!微纳加工服务享9.5折!心动不如手指动一动!

  • 浅谈MEMS制造工艺之光刻工艺

    2019/8/19

    光刻是生产半导体元件的一个关键步骤,即如何将印在光掩膜上的外形结构转移到基质的表面上。光刻工艺过程与印刷术中的平版印刷的工艺过程类似。

  • 浅谈MEMS工艺技术之刻蚀

    2019/8/19

    刻蚀就是用化学的、物理的或同时使用化学和物理的方法,有选择地把没有被抗蚀剂掩蔽的那一部分薄膜层除去,从而在薄膜上得到和抗蚀剂膜上完全一致的图形。刻蚀技术主要分为干法刻蚀与湿法刻蚀。