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微纳代工MEMS传感器制造的难点

2020-09-03

  微纳代工企业可以协助MEMS传感器的研发,但是MEMS传感器的制造是有一定难度的。目前市场现状就是大公司都有自己的生产工艺,没有统一的标准和准则去规范生产工艺。有些人认为,统一的工艺标准可能没有必要,只要能制作MENS传感器,其他的都不是问题。

那么,MEMS制造到底需不需要标准呢?

 

  ST的Benedtto Vigna认为:是不需要统一的标准,但是某一个不见或者不见的应用是可以有标准的。至于测试的方法,也不需要统一的标准。因为测试跟成本是有关系的。MEMS的测试是厂商货品成本中相当重要的一部分,所以每家公司有自己不同的心得,怎样做得最省钱、最好,所以各家的测试并没有一定的标准,但是各家做出来的产品可以互用。 

 

  微纳代工中,封装是工艺的最后一项,且是费用最高难度最大的一项。MEMS封装方式也是每个企业关注的重点,因为利益是否最大,取决于封装的费用。目前,WCSP、TSV等是封装的主流,客户会更倾向于哪种?用一句话高度概括地回答:最终客户并不在乎封装在里面的是什么,他们根据规格参数购买部件,无所谓是不是晶圆级芯片尺寸封装(WCSP)还是TSV封装,客户通常不会问这些问题。