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中国MEMS黄金十年即将到来(二)

2020-09-16

  中国MEMS产业的黄金十年的到来,离不开外围环境变化而导致现状的存在。微纳代工是随着MEMS产业发展起来的,MEMS代工也是也俨然成为中国MEMS产业的主要特色。其中,封装工艺依旧是整个MEMS最重要的环节。新材料依旧是MEMS创新的机会。具体解析如下:

 

  第三,代工制造是中国MEMS产业重要特点。MEMS产业离不开制造,有制造就会有代工。微纳代工就是服务于MEMS产业前期研发,有能力的微纳代工公司也能完成MEMS代工的整套工艺。由于国际形势的变化莫测,企业对风险的规避越来越重视。同时,国内MEMS生产能力也日渐提高,相对选择国外工厂。国内MEMS代工具有速度快、沟通成本低、价格相对便宜的三个优势。所以,很多公司都考虑或者已经把目光投向国内市场。这就促使中国内地MEMS晶圆厂发展特别快,从而扩大我国MEMS制造能力。国内主要的代工是从6寸代工厂开始的,微纳代工和MEMS代工也逐步标准化和兼容化。MEMS代工对工厂的综合实力比较高,大部分MENS公司还是比较适合选择微纳代工或者MEMS代工来完成项目。

 

  第四,先进封装是MEMS产业重要环节。我们知道,封装是MEMS产品工艺最后一个环节也是最贵的一个环节。它是实现芯片保护和外界信号交互等功能实现的位置。封装工艺是否合理和良好,最终决定了MEMS产品的功能实现是否良好以及成本问题。与IC封装相比,MEMS封装需考虑的因素更多,更加复杂,且标准不一,往往需要定制化。近年来,3D晶圆级封装技术取得长足进步,可以把MEMS和ASIC整合在一起,进一步提升效率和缩减尺寸是MEMS先进封装领域的重要方向。

 

  新材料的使用是MEMS创新和突破的一个机会。40多年的硅基产品已经是非常成熟的工艺及产业。新材料的使用才是MEMS发展的突破和期待。新材料的选择,可以通过微纳代工企业不断尝试和实验,不仅降低研发成本,也加快了研发速度。基于新材料的MEMS器件是一个摆在我们面前的巨大机会。比如PZT、氮化铝、氧化钒等新材料MEMS器件正在取得突破,下一步有望快速应用,取代部分传统硅基产品。同时,将多种单一功能传感器组合成多功能合一的传感器模组,再通过集成微控制器、微处理器等芯片的传感器集成技术,也是MEMS产业新的市场机会。

 

  中国MEMS产业的高速发展,这还得感谢国家和地方政府的支持和推动。例如苏州很早就建设了国家级纳米科技园,用于微纳代工、MEMS产业等。并且涌现出一批优秀的微纳企业,已成为周边地区乃至全国提供为微纳服务的基地。