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MEMS发展的两个趋势

2020-09-23

  微纳代工的未来趋势是跟着MEMS产业发展走的,MEMS发展的主要趋势有两种,主要是尺寸和成本往更小的尺寸和更低的成本发展。MEMS加速度计用在安全气囊系统中已经超过三十多年,但是如今,这些传感器也可以用在无人机、游戏机、手机、运动手表、GPS设备、医疗应用等。MEMS已经从独立的器件发展到集成的六轴甚至九轴组合传感器。

 

  MEMS技术的进步令人震惊,尽管最初的MEMS旋转传感器只检测到1.5度的旋转,但现在常见的是0.1度,而不久后将达到0.05度。陀螺仪和电子罗盘的应用将受益于这种精度。MEMS气压计首次面市时精度在米级,现在的标准是25厘米。对于MEMS麦克风,当前标准的信噪比为55dB,最高能到70dB,但对智能手机而言,75dB的MEMS麦克风已经在开发中了。

 

  MEMS的发展主要呈现两种趋势。由于对小尺寸和低成本的要求,越来越多的MEMS技术被集成到芯片中,或者先进封装中。例如,博世(Bosch)推出了一款系统级封装MEMS传感器,其集成了14位的三轴加速度计、16位的三轴陀螺仪和三轴的磁力计,所有的这些元件再与32位微控制器一起封装在大小只有5.2 x 3.8 x 1.1立方毫米的模块中。(参考资料:《博世BMF055:9轴运动传感器+传感器中枢》)

 

  低成本和小尺寸是MEMS发展的两个趋势,微纳代工也会被推着往这两方面发展。