原位芯片
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微流控器件
悬臂梁器件
TSV通孔产品
高精度硅基掩膜版
二维材料器件

微流控(Microfluidics)指的是使用微管道处理或操纵微小流体的系统所涉及的科学和技术。因为具有微型化、集成化等特征, 微流控装置通常也被称为微流控芯片,芯片实验室和微全分析系统。原位芯片为客户提供整套包括设计,加工,测试在内的微流控芯片解决方案。

器件应用


微流控芯片因其微型化,规模集成等特征,在有机合成、微反应器和化学分析,临床诊断仪器和体外仿生模型等领域得到了广泛应用。

工艺能力


PDMS器件

 加工精度取决于模具的精度,原位芯片提供高精度模具如刻蚀硅,SU-8,刻蚀玻璃。

SU-8器件

 胶厚范围在2-400um之间,胶厚和线宽比为1:1,精度误差小于10%。

硅流道器件

 最小线宽在百纳米级别,流道陡直度高,线宽精度高,可控精度5%以内,流道最大深宽比可达20:1。

玻璃流道器件

 深度1um内用IBE刻蚀,刻蚀精度10%以内,深宽比1:1,加工效率高。

 深度1-20um,可用NLD刻蚀,刻蚀具有高刻蚀速率、高均匀性、高等离子体密度及低压放电。

 深度20um以上用湿法腐蚀,加工效率高,深宽比2:1以上。线宽200um以上,精度要求低,可采用激光打孔。

我们的优势


 加工周期短  效率高  完整的工艺能力



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