原位芯片
QQ咨询
电话咨询

樊工:18896955563

孙工:18816295425

邮件咨询

sales@ywmems.com

微流控器件
悬臂梁器件
TSV通孔产品
高精度硅基掩膜版
二维材料器件

悬臂梁是一种一端是固定支座,另一端为自由端的器件,因其具有较高的敏感性、精确性、稳定性等特点,广泛被应用于气体传感器、化学传感器等。悬臂梁的设计和工艺加工成熟度直接影响其性能,原位芯片凭借其丰富的设计及加工经验,为客户提供定制化的悬臂梁设计及加工服务。

应用范围


利用悬梁的谐振频率或相位参数,可以测量压力、真空度、加速度等物理量。

工艺能力


 加工线宽:百纳米-百微米  加工材料:硅、SOI、氮化硅  悬梁类型:静电驱动、加热型、加电型

我们的优势


 结合材料广泛  设计经验丰富  释放工艺成熟

原位芯片