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标签:英寸碳化硅衬底参数
英寸级碳化硅衬底:揭秘其参数与工艺**
在半导体行业,碳化硅(SiC)衬底因其优异的性能,正逐渐成为替代传统硅衬底的新宠。相较于硅,碳化硅具有更高的击穿电场、更低的导热系数和更高的热稳定性,这使得它成为制造高性能功率器件的理想材料。
2026-05-19
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