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半导体集成电路 ·

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硅片抛光与研磨：工艺差异与选择要点
硅片作为半导体集成电路制造的基础材料，其表面质量直接影响到后续工艺的良率和产品的性能。硅片的制备过程中，抛光和研磨是两个关键的工艺环节。那么，这两者之间有何区别？又该如何选择呢？

2026-05-24